电子厂FFU净化单元洁净说明

FFU净化单元/FFU层流罩一般采用***覆铝锌板，*腐蚀，**生锈，轻配坚固;FFU净化单元/FFU层流罩风机采用*防静电多翼式节能型风机，配用三档调速开关，分别为高、中、低档位，风量大，超低噪音为45分贝，高为52分贝，风压扩散均匀，出面面风速均匀稳定，功耗运行成本低。

一、FFU的外观目前，全**所有厂家生产的FFU，从外观上可这样划分:1、从形状上分两种，一种是长方体，一种上部为坡形。图2所示的FFU的上部做成坡形，起到了一种导流的作用，有利于气流的流动和均匀分布。图1所示的FFU则一般依靠另外的途径来均衡气流(后面详细阐述)。2、从结构上分两种，一种为整体，一种为分体。分体形状的FFU有如下优势：①使过滤器的更换变得方②减小了安装过程中的劳动强度。整体形状的FFU有如下优势：①增加了FFU的密封性，有效防止了泄漏。②有利于降低噪音③有利于减小振动

二、FFU的组成部件目前，各种FFU多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序)，视不同厂家组成部分可能有所减少(如图5所示)。1、预过滤器;2、气流均衡装置;3、外壳体;4、过滤器;5、风管连接部件;6、金属防护网;7、电机;8、刀缘;9、叶轮;10、控制元件。

下面，我们对各个部件进行分析介绍：

一、预空气过滤器一般为可清洗聚胺脂泡沫，主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。

二、外壳体组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种，不同厂家和不同的使用环境有不同的选择，厚度大约为1.2~2.0，视厚度情况有些可以载人。

三、风管连接部件在洁净**较低(≤1000级联邦标准209E)的场合，此时吊顶上部没有静压箱，带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接**方便。

四、电机目前，交流电机和直流电机在FFU中都有使用，直流电机的体积大，造价高，控制容易实现，能耗较高。交流电机的体积小，造价低，控制需要相应的技术，能耗较低。现在FFU所使用的电机的寿命大约为4~10万小时不等。一些**的电机会有相应的技术，如无油润滑，密封轴承，带过热保护，换向器寿命得到显著提高等。

五、叶轮叶轮有两种形式，前倾和后倾，前倾有利于增加气流组织的矢向流动，增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗，减小噪音。

六、气流均衡装置随着FFU的不断普及，*大部分厂家都开始装配气流均衡装置，用来调整FFU的出口气流，从而改善洁净室的气流分布。目前，这种均衡装置大约分为三种：一种为孔板(如图6所示)，主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅(如图7所示)，主要通过格栅的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线(如图8所示)，主要通过曲线的形状来诱导气流的流动，同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。

七、过滤器FFU所使用的过滤器和洁净厂房所用的其它过滤器一样，这里不再赘述。

八、金属防护网金属防护网主要起到对过滤器的保护作用，大部分都防静电。

九、刀缘当FFU使用在一些特别的场合时，带刀缘的FFU可使用液槽密封，从而能满足高密封性的要求。

十、控制单元FFU的控制可大致分为多档开关、连续调节、计算机控制等几种，同时实现的功能有单台控制、分区控制、报警、运行状态显示等。